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电子级四甲基氢氧化铵
(显影液TMAH,25.0%、20.0%、
2.380%)

基本特性

C.A.S.

75-59-2

分子式

(CH3)4NOH

分子量

91.15


物理性质

形  态

液体

沸点 oC

100.0

凝固点oC

<-25.0

粘性25 oC, cst

2.8

比重 @ 60 oF

1.022

闪点 oF

>200

pH

>13


产品规格

检测项目

检测单位

R-25
MAX

R-20
MAX

R-2.38
MAX

含量

%

24.925.1

19.920.1

2.3772.383

色度

Hazen

5

5

5

碳酸根

ppm

 300

300

30

氯离子

ppm

0.1

0.1

0.1

铁(Fe

ppb

10

10

1

钴(Co

ppb

10

10

1

镍(Ni

ppb

10

10

1

铜(Cu

ppb

10

10

1

银(Ag

ppb

10

10

1

金(Au

ppb

10

10

1

锰(Mn

ppb

10

10

1

铬(Cr

ppb

10

10

1

钒(V

ppb

10

10

1

钛(Ti

ppb

10

10

1

锌(Zn

ppb

10

10

1

铍(Be

ppb

10

10

1

铝(Al

ppb

10

10

1

镓(Ga

ppb

10

10

1

锡(Sn

ppb

10

10

1

锑(Sb

ppb

10

10

1

铋(Bi

ppb

10

10

1

钼(Mo

ppb

10

10

1

铂(Pt

ppb

10

10

1

钯(Pd

ppb

10

10

1

钠(Na

ppb

10

10

1

镁(Mg

ppb

10

10

1

钙(Ca

ppb

10

10

1

锶(Sr

ppb

10

10

1

钡(Ba

ppb

10

10

1

镉(Cd

ppb

10

10

1

铅(Pb

ppb

10

10

1

砷(As

ppb

10

10

1

锂(Li

ppb

10

10

1

铊(Tl

ppb

10

10

1

钾(K

ppb

10

10

1

颗粒>=0.5um

/ml

100

100

100


应用

用途

在电子行业中,广泛用作硅晶片蚀

刻剂、清洗剂、正胶显影液等。

储存

保存于密闭容器中,放置阴凉处。

标准包装

1000Kg IBC

运输信息

危险品等级:8   UN 1835



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